Single‐Step‐Lithography Micro‐Stepper Based on Frictional Contact and Chiral Metamaterial

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标题	Single‐Step‐Lithography Micro‐Stepper Based on Frictional Contact and Chiral Metamaterial 基于摩擦接触和手性超材料的单步光刻微步进相关领域步进电机小型化平版印刷术材料科学超材料旋转（数学）执行机构光刻纳米技术机械工程计算机科学光电子学工程类电气工程人工智能
网址	https://doi.org/10.1002/smll.202202128 AI链接 hal.science hal.science nih.govdoi.org
DOI	10.1002/smll.202202128 doi
其它	期刊：Small 作者：Xiaojun Tan; Julio Andrés Iglesias Martínez; Gwenn Ulliac; Bing Wang; Linzhi Wu; et al 出版日期：2022-06-16
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