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Area-Selective Molecular Layer Deposition of a Silicon Oxycarbide Low- k Dielectric
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网址
http://dx.doi.org/10.1021/acs.chemmater.0c03668
DOI
10.1021/acs.chemmater.0c03668 doi
其它 期刊：Chemistry of Materials
作者：Xiaoyun Yu; Dara Bobb-Semple; Il-Kwon Oh; Tzu-Ling Liu; Richard G. Closser; et al
出版日期：2021-02-01
求助人
2d3y 在 2026-09-30 10:13:29 发布自江苏，悬赏 10 积分
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