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标题
Toward Mo2C EUV pellicles: hydrogen-plasma qualification and technologies for full-size membrane fabrication
相关领域
材料科学 制作 极紫外光刻 纳米技术 光电子学 膜 碳纳米管 工程类 过程(计算) 工程物理
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DOI
10.1117/12.3125429 doi
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求助人
ADChem_JH 在 2026-10-08 08:21:54 发布自安徽,悬赏 20 积分
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