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标题
Efficient Calculation of Charging Effects in Electron Beam Lithography Using the SA-AMG
网址
http://dx.doi.org/10.1109/led.2024.3448504
DOI
10.1109/led.2024.3448504 doi
其它 期刊：IEEE Electron Device Letters
作者：Wentao Ma; Kangpei Yao; Xiaoyang Zhong; Jie Liu
出版日期：2024-10-01
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大松鼠 在 2026-10-21 15:01:22 发布自浙江，悬赏 10 积分
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  • 1天前

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  • 1天前

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