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标题
Imido-Based Non-Ionic Photoacid Generators Targeted for Double Amplification EUV Resists
网址
http://dx.doi.org/10.1021/acs.chemmater.5c03282
DOI
10.1021/acs.chemmater.5c03282 doi
其它 期刊：Chemistry of Materials
作者：Madan Rajendra Biradar; Huseyin Cem Kiliclar; Gokhan Sagdic; Rachel L. Snyder; MingQi Li; et al
出版日期：2026-03-23
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李露露 在 2026-08-21 15:06:43 发布，悬赏 10 积分
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  • 1天前

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