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Fluorine-free Plasma Enhanced Atomic Layer Deposited Ultrathin Tungsten Nitride Thin Films for Dual Diffusion Barrier Performance |
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期刊:ACS Applied Nano Materials 作者:Kang-Min Seo; Debananda Mohapatra; Gun-Woo Bae; Mohd Zahid Ansari; Yeseul Son; et al 出版日期:2023 |
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(2025-6-4)