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Hydrogen barrier performance of sputtered La2O3 films for InGaZnO thin-film transistor InGaZnO薄膜晶体管用溅射La2O3薄膜的氢势垒性能
相关领域
材料科学
薄膜晶体管
薄膜
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期刊:Journal of Materials Science 作者:Yujin Lee; Chong Hwon Lee; Taewook Nam; Sang-Hun Lee; Il‐Kwon Oh; et al 出版日期:2019-05-13 |
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