标题 |
Time-Resolved Electron Energy Distributions and Plasma Characteristics in a Pulsed Capacitively Coupled Plasma
脉冲电容耦合等离子体中的时间分辨电子能量分布和等离子体特性
相关领域
等离子体
微电子
容性耦合等离子体
电子
材料科学
等离子体处理
物理
薄脆饼
原子物理学
光电子学
核物理学
感应耦合等离子体
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其它 |
期刊:IEEE transactions on plasma science 作者:Sang-Heon Song; Mark J. Kushner 出版日期:2011-11-01 |
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