Comparative analysis on Gaussian process regression and numerical model for accurate Si 3 N 4 wet etching rate prediction under small training data condition - 科研通

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标题	Comparative analysis on Gaussian process regression and numerical model for accurate Si 3 N 4 wet etching rate prediction under small training data condition
网址	https://doi.org/10.35848/1347-4065/ae4df6
DOI	10.35848/1347-4065/ae4df6 doi
其它	期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Yusuke Hirata; Koki Shibata; Naoko Misawa; Takashi Ota; Yuki Yoshinaga; et al 出版日期：2026-03-05
求助人	wei0117 在 2026-09-12 15:20:08 发布自中国台湾，悬赏 10 积分
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