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 Etching of silicon in alkaline solutions: a critical look at the {111} minimum 相关领域
成核
蚀刻（微加工）
硅
各向同性腐蚀
各向异性
制作
材料科学
腐蚀坑密度
雕刻
纵横比（航空）
纳米技术
凝聚态物理
结晶学
矿物学
光学
光电子学
化学
复合材料
物理
病理
医学
有机化学
替代医学
图层（电子）
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期刊：Journal of Crystal Growth 作者：A.J. Nijdam; J. van Suchtelen; Erwin Berenschot; Han Gardeniers; Michael Curt Elwenspoek 出版日期：1999-03-01 |
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