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Etching of silicon in alkaline solutions: a critical look at the {111} minimum

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作者

A.J. Nijdam,J. van Suchtelen,Erwin Berenschot,Han Gardeniers,Michael Curt Elwenspoek

出处

期刊：Journal of Crystal Growth [Elsevier BV]
日期：1999-03-01 卷期号：198-199: 430-434 被引量：21

链接

utwente.nldoi.org

标识

DOI：10.1016/s0022-0248(98)01032-x

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