| 标题 |
 Influence of Composition of SiCN Film for Surface Activated Bonding SiCN膜成分对表面活性键合的影响
相关领域
材料科学
化学机械平面化
等离子体增强化学气相沉积
薄脆饼
退火（玻璃）
电介质
表面粗糙度
复合材料
硅
纳米技术
光电子学
图层（电子）
|
| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊：ECS Meeting Abstracts 作者：Fumihiro Inoue; Lan Peng; Serena Iacovo; Alain Phommahaxay; Jakob Visker; et al 出版日期：2020-02-27 |
| 求助人 | |
| 下载 | 求助已完成，仅限求助人下载。 |
|
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
|
PDF的下载单位、IP信息已删除
shhoing
无极微光
浮游
Jared
BowieHuang
香蕉诗蕊
gexzygg
达雨
带头大哥
Zx_1993
子车茗
热心市民小红花
莫问归期
yznfly
昏睡的蟠桃
欣慰元蝶
niNe3YUE
eric888
小青椒
ZOE
GingerF
xzy998
彭于彦祖
殷勤的紫槐
皖公网安备34019202002308
