Effect of Radio Frequency Power on the Properties of Hydrogenated Amorphous Carbon Films Grown by Radio Frequency Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition

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标题	Effect of Radio Frequency Power on the Properties of Hydrogenated Amorphous Carbon Films Grown by Radio Frequency Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition
网址	https://iopscience.iop.org/article/10.1143/JJAP.39.4088
DOI	10.1143/jjap.39.4088 doi
其它	期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Y. Hayashi; K. Hagimoto; H. Ebisu; Murali Krishna Kalaga; T. Soga; et al 出版日期：2000-07-15
求助人	自然的翠丝在 2026-08-30 20:26:05 发布自北京，悬赏 10 积分
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