Mechanisms underlying temperature uniformity in electrostatic chucks through experimental and simulation methods

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标题	Mechanisms underlying temperature uniformity in electrostatic chucks through experimental and simulation methods
网址	https://doi.org/10.1016/j.applthermaleng.2023.122011
DOI	10.1016/j.applthermaleng.2023.122011 doi
其它	期刊：Applied Thermal Engineering 作者：Chanjuan Liu; Jiuru Gao; Zhiwei He; Kang Han; Zhen Yang; et al 出版日期：2023-11-17
求助人	yl 在 2026-07-16 11:00:14 发布自浙江，悬赏 10 积分
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