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 Effects of discharge power for magnetron sputter deposition of boron carbide films on tilted substrates 相关领域
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期刊：Journal of Applied Physics 作者：J. B. Merlo; M. Seo; K. Kawasaki; L. R. Sohngen; L. B. Bayu Aji; et al 出版日期：2026-05-08 |
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(2025-6-4)
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