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Resolution, Line-Edge Roughness, Sensitivity Tradeoff, and Quantum Yield of High Photo Acid Generator Resists for Extreme Ultraviolet Lithography
网址
https://doi.org/10.7567/jjap.50.036504
DOI
10.7567/jjap.50.036504 doi
其它 期刊：Japanese Journal of Applied Physics
作者：Craig D. Higgins; Charles R. Szmanda; Alin Antohe; Greg Denbeaux; Jacque Georger; et al
出版日期：2013-12-21
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李露露 在 2026-09-23 14:45:34 发布自上海，悬赏 10 积分
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