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 Investigation of contamination particles generation and surface chemical reactions on Al2O3, Y2O3, and YF3 coatings in F-based plasma 相关领域
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期刊：Applied Surface Science 作者：Jongho So; MinJoong Kim; Hyuksung Kwon; Seonjeong Maeng; Eunmi Choi; et al 出版日期：2023-04-28 |
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