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 Highly selective GaAs/AlGaAs dry etching using HBr/SF6/He 相关领域
咬边
钝化
蚀刻（微加工）
干法蚀刻
材料科学
氢溴酸
光电子学
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选择性
图层（电子）
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感应耦合等离子体
砷化镓
分析化学（期刊）
化学
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生物化学
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量子力学
色谱法
复合材料
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期刊：Journal of vacuum science and technology 作者：Michael Barrow; S. P. Wright; Sarah Puzycki; Piyush Shah; Robert F. Bedford; et al 出版日期：2021-08-04 |
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