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 Mechanical properties and wear behavior of single-layer CrAlN and multilayer Cr/CrAlN coatings deposited by dual high power impulse magnetron sputtering 相关领域
材料科学
高功率脉冲磁控溅射
溅射沉积
复合材料
脉冲（物理）
腔磁控管
溅射
功率（物理）
冶金
光电子学
物理气相沉积
对偶（语法数字）
薄膜
金属化
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期刊：Thin Solid Films 作者：E. Kraynova; N. Madzhara; A. Grenadyorov; K. Oskomov; A. Solovyev 出版日期：2026-02-01 |
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