A novel integration scheme for self-aligend Ru topvia as post-Cu alternative metal interconnects

已完结

文献求助详情

标题	A novel integration scheme for self-aligend Ru topvia as post-Cu alternative metal interconnects
网址	http://xplorestaging.ieee.org/ielx7/10154618/10154586/101548...
DOI	10.1109/iitc/mam57687.2023.10154842 doi
其它	期刊：2023 IEEE International Interconnect Technology Conference (IITC) and IEEE Materials for Advanced Metallization Conference (MAM)(IITC/MAM) 作者：K. Motoyama; D. Metzler; C. Park; N. Lanzillo; L. Zou; et al 出版日期：2023-06-24
求助人	一个亿在 2026-03-04 16:40:57 发布自山西，悬赏 10 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。

上个求助

下个求助

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

不忘初心，牢记使命，为科研工作者服务

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 今后的应助被科研通管家采纳，获得10

刚刚; 费凝海发布了新的文献求助10

刚刚; 隐形曼青的应助被科研通管家采纳，获得10

刚刚; 科研通管家关闭了呆萌的芹菜的文献求助

1秒前; 小马甲的应助被小李采纳，获得10

1秒前; 小鱼儿飞飞发布了新的文献求助10

2秒前; lkk完成签到，获得积分10

3秒前; ikun上传了应助文件

3秒前; Anna Jenna发布了新的文献求助10

4秒前; Orange的应助被yuan采纳，获得50

5秒前; peipei发布了新的文献求助10

5秒前; Owen的应助被故意的若风采纳，获得10

6秒前; 科研狗的应助被llc采纳，获得50

7秒前; 卢胖儿完成签到，获得积分10

8秒前; lucygaga完成签到，获得积分10

8秒前; Nexus上传了应助文件

9秒前; 科研通AI6.4的应助被孤独芷烟采纳，获得10

9秒前; 科目三上传了应助文件

10秒前; 赘婿上传了应助文件

11秒前; 谦让语风完成签到，获得积分10

12秒前; Owen上传了应助文件

12秒前; 李健的粉丝团团长的应助被缥缈冥采纳，获得10

12秒前; 东风上传了应助文件

13秒前; 汉堡包的应助被lijiajun采纳，获得10

13秒前; kkxl完成签到，获得积分10

13秒前; 进击奇奇咪完成签到，获得积分10

13秒前; 汉堡包的应助被lili采纳，获得10

14秒前; NexusExplorer上传了应助文件

14秒前; QING发布了新的文献求助10

15秒前; 清风明月发布了新的文献求助20

15秒前; Becky完成签到，获得积分0

15秒前; ZYP完成签到，获得积分10

16秒前; LYNB完成签到，获得积分10

16秒前; 香蕉觅云的应助被Yidan采纳，获得10

17秒前; micaoqiqi发布了新的文献求助10

17秒前; CipherSage上传了应助文件

18秒前; 情怀上传了应助文件

19秒前; 水123发布了新的文献求助10

19秒前; 上课啦小眼镜发布了新的文献求助10

19秒前; 深情安青的应助被cc采纳，获得10

20秒前