Micro-scratch Detection on Wafer Surfaces Based on Strip Convolution and High-resolution Feature Reconstruction

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标题	Micro-scratch Detection on Wafer Surfaces Based on Strip Convolution and High-resolution Feature Reconstruction
网址	http://xplorestaging.ieee.org/ielx8/66/5159394/11612955.pdf?...
DOI	10.1109/tsm.2026.3714028 doi
其它	期刊：IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing 作者：Dan Jiang; Songbin Li; Yisheng Sun 出版日期：2026-07-17
求助人	turbo 在 2026-08-03 15:53:12 发布自江苏，悬赏 10 积分
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