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 A review on various techniques implemented for the synthesis of SiliconCarbo-Nitride (SiCN) coatings 相关领域
材料科学
微电子机械系统
陶瓷
涂层
纳米技术
溅射
氮化物
薄膜
等离子体增强化学气相沉积
纳米结构
计算机科学
图层（电子）
复合材料
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期刊：AIP Conference Proceedings 作者：Rishikesh Borah; Soham Das; Ashis Sharma; Abhinov Dutta 出版日期：2020-01-01 |
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