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标题
Direct copper-copper wafer bonding with Ar/N2 plasma activation
网址
https://doi.org/10.1109/EDSSC.2015.7285068
DOI
10.1109/EDSSC.2015.7285068 doi
其它 期刊：2015 IEEE International Conference on Electron Devices and Solid-State Circuits (EDSSC)
作者：S. L. Chua; G. Y. Chong; Y. H. Lee; C. S. Tan
出版日期：2015
求助人
ccc 在 2026-03-24 23:08:44 发布自湖北，悬赏 10 积分
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