Effects of discharge power for magnetron sputter deposition of boron carbide films on tilted substrates

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标题	Effects of discharge power for magnetron sputter deposition of boron carbide films on tilted substrates
网址	https://doi.org/10.1063/5.0317058
DOI	10.1063/5.0317058 doi
其它	期刊：Journal of Applied Physics 作者：J. B. Merlo; M. Seo; K. Kawasaki; L. R. Sohngen; L. B. Bayu Aji; et al 出版日期：2026
求助人	眼睛大涵易在 2026-06-01 15:40:03 发布自四川，悬赏 10 积分
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