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 Effect of growth and residual stress in AlN (0002) thin films on MEMS accelerometer design 相关领域
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期刊：Journal of Materials Science Materials in Electronics 作者：Nidhi Gupta; Shankar Dutta; Akhilesh Pandey; Siva Rama Krishna Vanjari; Davinder Kaur 出版日期：2020-09-01 |
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