Development and diagnostic study of the RF nitrogen atom source

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标题	Development and diagnostic study of the RF nitrogen atom source 射频氮原子源的研制与诊断研究相关领域氮气氮原子 Atom（片上系统）材料科学化学环境科学原子物理学物理计算机科学有机化学嵌入式系统群（周期表）
网址	https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2024.113820
DOI	10.1016/j.vacuum.2024.113820 doi
其它	期刊：Vacuum 作者：Mengting Li; Xiaoyan Xu; Wubin Wu; Shixiang Peng; Weiping Chen; et al 出版日期：2024-11-09
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