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标题
Heteroepitaxial AlN growth on c-plane sapphire substrates by ammonia-free high temperature metalorganic chemical vapor deposition
无氨高温金属有机化学气相沉积法在c面蓝宝石衬底上异质外延生长AlN
相关领域
金属有机气相外延 蓝宝石 化学气相沉积 半最大全宽 外延 扫描电子显微镜 增长率 材料科学 分析化学（期刊） 透射电子显微镜 薄膜 化学 光电子学 图层（电子） 光学 纳米技术 激光器 复合材料 数学 几何学 物理 色谱法
网址
https://doi.org/10.1016/j.jcrysgro.2021.126496
DOI
10.1016/j.jcrysgro.2021.126496 doi
其它 期刊：Journal of Crystal Growth
作者：Xu Qiang Shen; Kazutoshi Kojima; Xu Qiang Shen; Kazutoshi Kojima
出版日期：2022-01-04
求助人
就这样吧 在 2025-12-05 04:15:40 发布自河南，悬赏 10 积分
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