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 Heteroepitaxial AlN growth on c-plane sapphire substrates by ammonia-free high temperature metalorganic chemical vapor deposition 无氨高温金属有机化学气相沉积法在c面蓝宝石衬底上异质外延生长AlN
相关领域
金属有机气相外延
蓝宝石
化学气相沉积
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外延
扫描电子显微镜
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材料科学
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薄膜
化学
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期刊：Journal of Crystal Growth 作者：Xu Qiang Shen; Kazutoshi Kojima; Xu Qiang Shen; Kazutoshi Kojima 出版日期：2022-01-04 |
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