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Significantly improving the mechanical/electrical characteristics of blind-hole Cu filling through crystal coherent modification 相关领域
材料科学
电子背散射衍射
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期刊:Surface and Coatings Technology 作者:Yuming Lin; Cheng‐Yu Lee; Yu-Lien Chen; Chih-Pin Pan; Cheng–En Ho 出版日期:2022-01-14 |
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