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 Optimization of inductively coupled plasma deep etching of GaN and etching damage analysis GaN电感耦合等离子体深刻蚀优化及刻蚀损伤分析
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期刊：Applied Surface Science 作者：Rongfu Qiu; Hai Lu; Dunjun Chen; Rong Zhang; Youdou Zheng 出版日期：2010-10-21 |
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