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Thickness determination of low doped SiC epi-films on highly doped SiC substrates
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网址
https://doi.org/10.1007/s11664-998-0404-9
DOI
10.1007/s11664-998-0404-9 doi
其它 期刊：Journal of Electronic Materials
作者：M. F. MacMillan; Anne Henry; Erik Janzén
出版日期：1998-04-01
求助人
ss 在 2025-11-14 16:43:59 发布自湖南，悬赏 10 积分
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