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 Directed self-assembly of block copolymers for 7 nanometre FinFET technology and beyond 用于7纳米FinFET技术及以后的嵌段共聚物的定向自组装
相关领域
材料科学
微电子
平版印刷术
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集成电路
光电子学
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电气工程
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病理
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医学
结构工程
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期刊：Nature electronics 作者：Chi‐Chun Liu; Elliott Franke; Yann Mignot; Ruilong Xie; Chun Wing Yeung; et al 出版日期：2018-10-09 |
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