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Surface quality improvement mechanism of ICP etching for Ga2O3 Schottky barrier diode |
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期刊:Micro and nanostructures 作者:Yicong Deng; Desen Chen; Titao Li; Minmin Zhu; Xiaorui Xu; et al 出版日期:2025-01-10 |
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(2025-6-4)