Metal-oxide resist material and process advancements for positive- and negative-tone high-NA EUV lithography applications

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标题	Metal-oxide resist material and process advancements for positive- and negative-tone high-NA EUV lithography applications
网址	http://dx.doi.org/10.1117/12.3090868
DOI	10.1117/12.3090868 doi
其它	期刊：Advances in Patterning Materials and Processes XLIII 作者：Alexander C. Marwitz; Jan Doise; Joren Wouters; Matthew Voss; Bradley J. Ryan; et al 出版日期：2026-04-09
求助人	樊珩在 2026-10-07 17:57:35 发布自上海，悬赏 20 积分
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