Polarization aberrations in EUV projection objectives: effects of numerical aperture and illumination incidence angle

求助中

文献求助详情

标题	Polarization aberrations in EUV projection objectives: effects of numerical aperture and illumination incidence angle
网址	http://dx.doi.org/10.1364/oe.616344
DOI	10.1364/oe.616344 doi
其它	期刊：Optics Express 作者：Boyuan Meng; Jingaowa Hu; Xuefeng Zeng; Yang Liu; Wenyan Li; et al 出版日期：2026-10-19
求助人	俊逸三德在 2026-10-22 17:14:04 发布自上海，悬赏 10 积分
下载	暂无链接，等待应助者上传

上个求助

下个求助

提交工单

求助 / 应助时间线

现在，等待您上传文献

对不起，您需要登录才可以上传文件。
进入登录页面
11小时前

科研通AI2.0 机器人未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

17:14:07 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

17:14:04 科研通AI机器人（英国伦敦）收到请求，开始寻找文献

17:14:04 已向机器人发送请求
11小时前

俊逸三德 Lv1 求助人发起了本次求助

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 传奇3的应助被CLW采纳，获得10

16秒前; 传奇3上传了应助文件

25秒前; CLW发布了新的文献求助10

29秒前; 风趣香岚完成签到，获得积分10

34秒前; 平常听蓉完成签到，获得积分10

41秒前; 芦苇红柳完成签到，获得积分10

1分钟前; 安静白柏完成签到，获得积分10

1分钟前; Paddi完成签到，获得积分10

1分钟前; 老戎完成签到，获得积分10

1分钟前; 耍酷的手套完成签到，获得积分10

1分钟前; 刘同学完成签到，获得积分10

1分钟前; 虚幻的雁山完成签到，获得积分10

1分钟前; JUN完成签到，获得积分10

2分钟前; 瞿人雄完成签到，获得积分10

2分钟前; 啦啦啦完成签到，获得积分10

2分钟前; 没心没肺完成签到，获得积分10

2分钟前; 柯羲完成签到，获得积分10

2分钟前; 爱撒娇的芷巧完成签到，获得积分10

2分钟前; 乐观的黎云完成签到，获得积分10

2分钟前; 自信的纸鹤完成签到，获得积分10

3分钟前; woxinyouyou完成签到，获得积分0

3分钟前; 朴实的懿轩完成签到，获得积分10

3分钟前; 快乐的问旋完成签到，获得积分10

3分钟前; 球球子完成签到，获得积分10

3分钟前; 和谐早晨完成签到，获得积分10

3分钟前; 迷路万天完成签到，获得积分10

4分钟前; null的应助被科研通管家采纳，获得10

4分钟前; 甜美的梦芝完成签到，获得积分10

4分钟前; 开心的灭龙完成签到，获得积分10

5分钟前; 清辉影完成签到，获得积分10

5分钟前; 热心荆完成签到，获得积分10

5分钟前; qinz完成签到，获得积分10

5分钟前; 坚定的友儿的应助被balko采纳，获得10

5分钟前; 霸气惜文完成签到，获得积分10

6分钟前; 小二郎上传了应助文件

6分钟前; 感动初蓝完成签到，获得积分10

6分钟前; supercheese发布了新的文献求助30

6分钟前; 五月完成签到，获得积分10

6分钟前; 优雅的树叶完成签到，获得积分10

6分钟前; Lucas上传了应助文件

6分钟前