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Characteristics and surface energy of silicon-doped diamond-like carbon films fabricated by plasma immersion ion implantation and deposition 等离子体浸没离子注入沉积制备掺硅类金刚石薄膜的特性和表面能
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期刊:Diamond and Related Materials 作者:Guojiang Wan; Ping Yang; Ricky K.Y. Fu; Yongfeng Mei; Teng Qiu; et al 出版日期:2005-11-22 |
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