Peculiarities of the Processing of Polycrystalline AlN Films on Glass-Ceramic and Si Substrates by Argon Cluster Ions

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标题	Peculiarities of the Processing of Polycrystalline AlN Films on Glass-Ceramic and Si Substrates by Argon Cluster Ions
网址	https://doi.org/10.1134/S1027451022040152
DOI	10.1134/S1027451022040152 doi
其它	期刊：Journal of Surface Investigation: X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques 作者：I. V. Nikolaev; N. G. Korobeishchikov; P. V. Geydt; N. A. Chirikov; V. I. Strunin 出版日期：2022
求助人	三人水明在 2026-03-17 22:44:01 发布自河北，悬赏 10 积分
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