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 Study on the surface crystallization mechanism and inhibition method in the CMP process of aluminum alloy mirrors 相关领域
抛光
材料科学
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铝
合金
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化学机械平面化
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物理
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期刊：Applied Optics 作者：Tao Zhao; Hao Hu; Xiao-Qiang Peng; Chun-Yang Du; Chao-Liang Guan; Jia-Hao Yong 出版日期：2019 |
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