| 标题 |
Unified inverse lithography technology (ILT) and fracturing through recurrent neural network |
| 网址 | |
| DOI |
10.1117/12.3050153
doi
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| 其它 |
期刊:DTCO and Computational Patterning IV 作者:Shilong Zhang; Youngsoo Shin 出版日期:2025-04-23 |
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(2025-6-4)