发布文献求助
求助中
  • 文献求助详情
标题
Unraveling the EUV photoresist reactions: which, how much, and how do they relate to printing performance
揭示EUV光致抗蚀剂反应：它们与印刷性能的关系、程度和关系如何
相关领域
极紫外光刻 抵抗 光刻胶 极端紫外线 平版印刷术 光刻 化学反应 光子 材料科学 纳米技术 化学 光电子学 光学 物理 有机化学 激光器 图层（电子）
网址
https://doi.org/10.1117/12.2515456
DOI
10.1117/12.2515456 doi
其它 期刊：
作者：Ivan Pollentier; John S. Petersen; Peter De Bisschop; Danilo De Simone; Geert Vandenberghe
出版日期：2019-03-14
求助人
mit 在 2025-10-27 09:32:47 发布自宁夏，悬赏 20 积分
下载 暂无链接，等待应助者上传
 
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
上个求助
下个求助
提交工单
相关文献
  1. Extreme ultraviolet (EUV) source and ultra-high vacuum chamber for studying EUV-induced processes
  2. Quantitative measurement of EUV resist outgassing
  3. Stochastic defect generation depending on tetraalkylhydroxide aqueous developers in extreme ultravio...
  4. Extreme ultraviolet resist outgassing and its effect on nearby optics
  5. Contact photolithography modeling for thick photoresists layers
  6. Characterizing Surface Roughness Using the Extreme Ultraviolet
  7. Study on Fabrication Process Parameter Estimation by Visual Measurement
  8. Optical Devices for Extreme Ultraviolet
  9. Pulsed Plasma EUV Sources
  10. Research and application of thick photoresist lithography using UV light
　...点击展开更多...　
求助 / 应助时间线

  • 现在，等待您上传文献

  • 12小时前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

    09:32:52 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
    09:32:49 科研通AI机器人（中国 香港）收到请求，开始寻找文献
    09:32:48 已向机器人发送请求

  • 12小时前

    mit mit Lv7 求助人 发起了本次求助

更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
1秒前
alllllpi完成签到，获得积分10
1秒前
3秒前
喵了个咪发布了新的文献求助10
5秒前
SUNYAOSUNYAO发布了新的文献求助10
5秒前
6秒前
8秒前
8秒前
9秒前
9秒前
领导范儿的应助被健壮代柔采纳，获得10
9秒前
科研通AI6的应助被sun采纳，获得10
10秒前
11秒前
12秒前
kaka22发布了新的文献求助10
12秒前
12秒前
better完成签到，获得积分10
13秒前
喜悦的黑夜完成签到，获得积分20
13秒前
13秒前
ggdio发布了新的文献求助10
14秒前
Jasper的应助被喵了个咪采纳，获得10
14秒前
杜小杜发布了新的文献求助10
14秒前
DrChen发布了新的文献求助10
14秒前
研友_qZ6V1Z发布了新的文献求助10
14秒前
橙子完成签到，获得积分10
14秒前
15秒前
15秒前
15秒前
16秒前
Bob发布了新的文献求助60
16秒前
idiom完成签到 ，获得积分10
16秒前
17秒前
NexusExplorer的应助被游婧采纳，获得10
17秒前
17秒前
17秒前
ppp完成签到，获得积分10
18秒前
18秒前
19秒前
19秒前
ainiyiyayou完成签到，获得积分20
19秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
Binary Alloy Phase Diagrams, 2nd Edition 1000
青少年心理适应性量表(APAS)使用手册 700
Air Transportation A Global Management Perspective 9th Edition 700
Socialization In The Context Of The Family: Parent-Child Interaction 600
DESIGN GUIDE FOR SHIPBOARD AIRBORNE NOISE CONTROL 600
当代中国马克思主义问题意识研究 科学出版社 500
热门求助领域 （近24小时）
化学 医学 生物 材料科学 工程类 有机化学 内科学 生物化学 物理 计算机科学 纳米技术 遗传学 基因 复合材料 化学工程 物理化学 病理 催化作用 免疫学 量子力学
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 4993138
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 4240931
关于积分的说明 13212856
捐赠科研通 4036337
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 2208385
邀请新用户注册赠送积分活动 1219402
关于科研通互助平台的介绍 1137670
Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：941272744【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通