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 Optical proximity correction by using unsupervised learning and the patch loss function 基于无监督学习和贴片损失函数的光学邻近校正
相关领域
小型化
计算机科学
光学接近校正
功能（生物学）
人工智能
材料科学
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进化生物学
生物
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期刊：Applied Optics 作者：Pengpeng Yuan; Peng Xu; Le Ma; Yayi Wei 出版日期：2022-04-13 |
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