Plasma density and ion energy control via driving frequency and applied voltage in a collisionless capacitively coupled plasma discharge

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标题	Plasma density and ion energy control via driving frequency and applied voltage in a collisionless capacitively coupled plasma discharge
网址	https://arxiv.org/pdf/1806.06560
DOI	10.1063/1.5045816 doi
其它	期刊：Physics of Plasmas 作者：sarvesh sharma; A. Sen; N. Sirse; M. Turner; A. Ellingboe 出版日期：2018-06-18
求助人	Mzuser 在 2026-07-04 20:11:13 发布自荷兰，悬赏 10 积分
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