Atom-scale smoothing of monocrystalline silicon via non-abrasive catalytic polishing

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标题	Atom-scale smoothing of monocrystalline silicon via non-abrasive catalytic polishing 相关领域抛光单晶硅材料科学催化作用表面粗糙度薄脆饼硅表面光洁度化学工程基质（水族馆）化学机械平面化吸附冶金 Crystal（编程语言）研磨光电子学复合材料纳米技术外延计算光学
网址	https://doi.org/10.1016/j.jmapro.2025.10.043
DOI	10.1016/j.jmapro.2025.10.043 doi
其它	期刊：Journal of Manufacturing Processes 作者：Wenxiang Peng; Xiaoqiang Peng; Hao Hu; Tao Lai 出版日期：2025-10-23
求助人	Lel 在 2026-06-15 15:46:40 发布自吉林，悬赏 10 积分
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