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标题
Application of cyclic fluorocarbon/argon discharges to device patterning
网址
https://pubs.aip.org/avs/jva/article-pdf/doi/10.1116/1.49354...
DOI
10.1116/1.4935460 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science and Technology
作者：D. Metzler; K. Uppireddi; R. Bruce; H. Miyazoe; Yu Zhu; et al
出版日期：2016-01-01
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zml 在 2026-09-11 17:54:01 发布自美国，悬赏 10 积分
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