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 Roughness and Uniformity Control during Wet Etching of Molybdenum 相关领域
蚀刻（微加工）
材料科学
氧化剂
溶解
钼
表面光洁度
氧化物
氨
过氧化物
表面粗糙度
化学工程
无机化学
纳米技术
冶金
复合材料
图层（电子）
化学
有机化学
工程类
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期刊：Solid State Phenomena 作者：Antoine Pacco; Yuya Akanishi; Quoc Toan Le 出版日期：2021-02-01 |
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