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 Generalized scanning beam interference lithography system for patterning gratings with variable period progressions 相关领域
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures Processing, Measurement, and Phenomena 作者：G. S. Pati; R. K. Heilmann; P. T. Konkola; C. Joo; C. G. Chen; et al 出版日期：2002-12-12 |
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