MD Simulation of Sputtering of Single-Crystal Silicon and Germanium by Argon Clusters

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标题	MD Simulation of Sputtering of Single-Crystal Silicon and Germanium by Argon Clusters
网址	http://dx.doi.org/10.1134/s102745102670103x
DOI	10.1134/s102745102670103x doi
其它	期刊：Journal of Surface Investigation: X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques 作者：I. V. Nikolaev; P. V. Stishenko; N. G. Korobeishchikov 出版日期：2026-06-01
求助人	研友_LkY7BZ 在 2026-11-02 01:06:44 发布自四川，悬赏 10 积分
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