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Glancing angle deposition for tuning electronic transport properties of Si thin films

沉积（地质） 薄膜 电阻率和电导率 材料科学 兴奋剂 电阻式触摸屏 溅射沉积 凝聚态物理 溅射 光学 光电子学 纳米技术 物理 电气工程 量子力学 生物 工程类 古生物学 沉积物
作者
Stefania Oliveri,Jean-Marc Cote,Marina Raschetti,Pierre Roux,Nicolas Martin
出处
期刊：Physics Letters A 日期：2023-06-13 卷期号：480: 128955-128955 被引量：2
链接
hal.sciencedoi.org
标识
DOI：10.1016/j.physleta.2023.128955
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