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Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition of Poly(Cyclohexyl Methacrylate) as a Sacrificial Thin Film

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作者

Yunus Yartaşı,Mustafa Karaman

出处

期刊：Plasma Chemistry and Plasma Processing [Springer Science+Business Media]
日期：2019-10-17 卷期号：40 (1): 357-369 被引量：9

标识

DOI：10.1007/s11090-019-10038-1

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