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溅射 产量（工程） 离子 材料科学 工程物理 化学 物理 纳米技术 薄膜 冶金 有机化学
作者
Vincent S. Smentkowski
出处
期刊：Progress in Surface Science [Elsevier]
日期：2000-05-01 卷期号：64 (1-2): 1-58 被引量：210
标识
DOI：10.1016/s0079-6816(99)00021-0
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