A novel plastic package for pressure sensors fabricated using the lithographic dam-ring approach

作者
Lung-Tai Chen,Wood-Hi Cheng
出处
期刊:Sensors and Actuators A-physical [Elsevier BV]
卷期号:149 (1): 165-171 被引量:18
标识
DOI:10.1016/j.sna.2008.10.012

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